システム【流量制御機器】FCS Pressure Series

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

ーコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 　上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 　上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ 　ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 　様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社