システム【流量制御機器】FCS Pressure Series フジキン(Fujikin Incorporated)

超高純度用、圧力制御方式を採用した、流量制御機器です。

圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない
高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム

【特徴】
○シンプルでデットスペースレスな構造
○優れた圧力変動特性
　上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため
　上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ
　ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成
○フローファクターの採用
　様々なガス種に対応可能
○優れた精度
○流量自己診断機能の搭載
○すばやい応答性
○マウントポジションフリー
○デバイスネット通信にも対応

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

関連リンク - https://www.fujikin.co.jp/product/

基本情報システム【流量制御機器】FCS Pressure Series

1. 供給圧力が変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2. 応答時間が早い（0.5秒以下）
3. 優れた制度（標準タイプの場合で±1.0％S.P.以内）
4. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載
5. 取付姿勢の影響を受けません。
6. 流量自己診断機能を搭載
7. ガス種を選びません
8. RoHS対応

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用途／実績例	◆詳細製品カタログをご参照願います。

カタログシステム【流量制御機器】FCS Pressure Series

フローコントロールシステム　FCS Pressure Series

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取扱企業システム【流量制御機器】FCS Pressure Series

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞日本が世界に誇る半導体技術。超微量のガスを正確にコントロールし、極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで生産されます。組立・検査などの工程もすべてウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。また、1992年夏に打ち上げられたわが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。