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100V電源ユーティリティだけでエキシマ洗浄表面改質の実験検証が可能で…
172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。 【特徴】 スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。 オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。...型式 ASM86 Excimer 発光波長 172nm 処理対象物 W86mm×D120mm以下、厚...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研
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