ビーム加工・金属３Dプリンターを用いたマスクやコリメーターの提案

超微細スリットのマスク、高アスペクト比のコーデッドマスク、コリメーター…

ロングパルスレーザー 　より効率的に熱を加えることで微小孔で多孔等を高速・高品位に加工。 　更に、前後の処理工程(精密加工技術)と組合わせることにより低コスト加工。 超短パルスレーザー加工 　パルス幅の非常に短いレーザー(ピコ秒、フェムト秒等)を用いて微細加工する加工法。 　熱影響が少なく、高品位な仕上がり。 集束イオンビーム装置（FIB） 　数十ナノメートル程度に集束し...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社