ナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』

ウエハーの検査に好適！サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します

『ナノセブン TN-A1』は、ウエハーの検査に適しているナノ表面粗さ・ 形状計測器です。 研磨加工機の近くに設置して全数検査可能。 レーザーによる非接触型計測のため、計測対象物と接触しません。 また、光ヘテロダイン干渉法による位相差計測を採用し、光の波長を 基準としているため高さ方向分解能0.1nmが可能となり、AFMと互換性の 取れる計測結果を実現しました。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： ツクモ工学株式会社 本社工場