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レジスト膜の乾燥などに好適!製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望…
度(常温時、総合効率にて):ISOクラス5(クラス100) ■集塵効率:0.3μm粒子にて99.97%以上 ■集塵要素 ・メインフィルター:高温用HEPAフィルター ・プレフィルター:不織布フィルター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 日本エアーテック株式会社 本社
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