クリーンルーム内部機器『クリーンエアーオーブン』日本エアーテック

レジスト膜の乾燥などに好適！製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応

半導体工業におけるウエハーの焼鈍やレジスト膜の乾燥、光学分野での
洗浄後のレンズ乾燥および医療器材の無菌乾燥等は高温・高清浄度環境で
制御された「クリーンオーブン」が好適です。

当社では、庫内温度60～200℃の”標準”や、蒸気オーブン・大型オーブン
といった方式の”特殊”な『クリーンエアーオーブン』を取り扱っております。

また、製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応。ご用命の際は
お気軽にお問い合わせください。

【標準クリーンエアーオーブン仕様（一部）】
■型式：ACO-200-554K
■清浄度（常温時、総合効率にて）：ISOクラス5（クラス100）
■集塵効率：0.3μm粒子にて99.97％以上
■集塵要素
　・メインフィルター：高温用HEPAフィルター
　・プレフィルター：不織布フィルター

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.airtech.co.jp/products/cleaneq/1070/

基本情報クリーンルーム内部機器『クリーンエアーオーブン』

【特殊クリーンエアーオーブン仕様（一部）】
■方式
　・蒸気オーブン
　・大型オーブン
■清浄度：ISOクラス5（クラス100）
■集塵効率：0.3μm粒子にて99.97％以上
■集塵要素（メインフィルター）：HEPAフィルター

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業クリーンルーム内部機器『クリーンエアーオーブン』

日本エアーテック株式会社本社

クリーンエアシステムの専門メーカーとして、独自の技術を背景にクリーンルーム、クリーンベンチ、バイオハザードシステム等の開発、設計製造、販売を行っております。高信頼性が求められる半導体・液晶分野、再生医療分野などへの納入実績など高い技術力が私たちの強みです。クリーンエアシステム分野において、国内トップシェアを誇っております。日本国内に16拠点、海外に8拠点（中国・シンガポール・台湾・韓国・インド・ドイツ・ベトナム）の営業所や工場を持ち、お客様のニーズに迅速かつ的確に応えることのできる体制を整備しています。