クリーンロボット『STHR4000シリーズ』

半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット！

『STHR4000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアーム装備により、短時間でのウエハ交換が可能で主に半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しております。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは95mmと156mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル