原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX20』

故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール

】 ■XYスキャナー 　・クローズドループ制御単一XYスキャナー 　・スキャン範囲：100μm×100μm、50μm×50μm(オプション)、25μm×25μm(オプション) 　・20ビット位置制御と24ビット位置センサ ■Zスキャナー 　・フレクチャー式クローズドループスキャナー 　・スキャン範囲：15μm(オプション30μm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、...

メーカー・取り扱い企業： パーク・システムズ・ジャパン株式会社

原子間力顕微鏡『Park NX-HDM』

欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微…

　・Z移動距離：25 mm 　・分解能：0.1 µm 　・繰り返し誤差：＜1 µm ■XYスキャナ範囲：100 µm × 100 µm ■XYスキャナ分解能：0.095 nm (20ビット位置制御） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： パーク・システムズ・ジャパン株式会社