GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置

コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっています。超平坦化加工と…

【GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置の特色】 ○試料保持ステージ ・被対象物にあわせてステージ作製し、X-Y-Z、自転、入射角を変更できる ・X-Y スキャンを行うことで、ビーム照射高均一性が得られる ○高真空動作圧 ・アガスクラスターイオン生成室とビーム照射室が分かれているため、照射雰囲...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社