超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロパーツ，サブ…

LIGAプロセスの概要を紹介します。一連のプロセスによる製品提供の他にも，部分的な技術導入の相談も承っております。 LIGAプロセス工程: 1. X線マスクの作製 電子ビームまたはレーザーリソグラフィによる高精度のX線マスクを作製します。 2. レジストのX線リソグラフィ (Lithographie) 基板上のフォトレジストにX線マスクの構造を転写...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON