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PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。
本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御(予測制御)により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L+EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...
メーカー・取り扱い企業: クリーンメカニカル株式会社 本社
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高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術をサポート!
当社は、半導体製造分野、有機EL製造分野及び先端研究分野において、 『API-MS』を用いた高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術を サポートしています。 配管工事の施工実績としては、カミオカンデの次世代検出器XMASS用の ガス供給設備やJAXAのはやぶさII帰還チェンバー用ガスサンプリング システムなどがあります。 また『API-MS』法が、高感度なフィルムのガス透過性...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本エイピーアイ
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