【東北大学技術】均一な残膜が得られる光ナノインプリント方法

nm～μmサイズが混在しパターンの粗密がある構造体を精密に製造可能！

として注目されている一方で、後工程であるリソグラフィの プロセスが困難になってしまいます。 本発明の光ナノインプリント法は、マイクロスケールのレーザー 加工孔版印刷とナノスケールの有型光造形から構成。 1～300 Pa ･sの高粘度な光硬化性樹脂を、レーザー加工で作製した 貫通孔を持つポリイミドシートを孔版に用いて孔版印刷により 光硬化性樹脂の液滴を基板上に配置することがで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

東北大学技術：2Dカーボンマイクロラティス：T21-316

形状自由度が高く、フレキシブルな炭素材料

光造形3Dプリンターは、光硬化性樹脂を用いて様々な３次元マイクロ格子構造（3Dマイクロラティス）を成形できる。これを不活性雰囲気中で熱処理すると、元の形状を保ったまま６０～８０％収縮して炭素化し、3Dカーボンマイクロラティスを得ることができる。[1][2] 3Dカーボンマイクロラティスは軽量で高強度だが、炭素繊維のように柔軟に変形することは難しい。マイクロ構造炭素材料をより広く応用するため、本発明では...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ