冷却水循環装置　熱交換式チラー『SYSTEMシリーズ』

１次冷却水量は最小限にコントロールされるため、ランニングコストが抑えら…

サーモフィッシャーサイエンティフィック（Thermo Fisher Scientific社）のクールフローSYSTEMシリーズは、冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や自家水で冷却する、水と水による熱交換方式による大容量かつコンパクトな循環冷却装置です。 冷却水には純水を使用するので、冷却ラインにおける様々な...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

半導体製造装置用チラー

半導体製造装置向けに設計されたチラーです。

ム内で要求されるSEMI規格に準拠するためのEMO(緊急停止 ボタン)やLOTO(電源の遮断固定、警告表示）などのオプション を標準装備しています。 NESLAB３（SYSTEM３） 冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や 工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。 最大50 kWの冷却能力で±1.0℃の温度安定性を提供します。 ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社