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150℃/200℃対応!バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。
くは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。 特徴 ●最小フルスケールレンジ:133×10E-2Pa ●最大フルスケールレンジ:133×10E5Pa ●精度:読み値の0.50%...
メーカー・取り扱い企業: 日本エム・ケー・エス株式会社
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