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【事例紹介】液体の保温・加熱
用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄 液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される 純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく 加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細に...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
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