【事例紹介】液体の保温・加熱
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です
【特徴】
○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄
液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される
純水や薬液を保温・加湿することが可能
○高品質の石英ガラスで2重に覆われた
ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく
加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
基本情報【事例紹介】液体の保温・加熱
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です
【特徴】
○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄
液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される
純水や薬液を保温・加湿することが可能
○高品質の石英ガラスで2重に覆われた
ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく
加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報 | - |
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用途/実績例 | 【用途】 ○純水や薬液の保温・加湿 |
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