アプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』

超純水（UPW）の供給用バルブと流量計をご提案

超純水（UPW）は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。 ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で発生した残留物を除...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社