アプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』ゲミュージャパン

超純水（UPW）の供給用バルブと流量計をご提案

超純水（UPW）は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。

ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。
その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。

このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが,発電効率を最大限に発揮することにつながります。

当社では,超純水の処理・供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。

基本情報アプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』

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用途／実績例	【用途】 ■UPWの供給【実績例】 ■半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

詳細情報アプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』

: PurePlusシリーズ
ハイピュリティ・ダイアフラムバルブ

: ハイピュリティ・フローメーター
PVDF製の面積式流量計

カタログアプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』

取扱企業アプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』

ゲミュージャパン株式会社

【メインマーケット】 ◇医薬品・バイオテクノロジー産業 ◇食品・飲料産業 ◇化学工業・環境技術 ◇エネルギー産業 ◇水処理産業 ◇プロセス産業 ◇マイクロエレクトロニクス・半導体産業 ◇医療技術【取扱製品】 ■ダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバルブ） ■アングルシートバルブ ■マルチポートブロックバルブその他、ボールバルブ・バタフライバルブ等の汎用バルブに加え、制御機器（ポジショナー、プロセスコントローラー）、電磁弁等も提供します。