【塗布装置】エア式ディスペンサーの最高峰「SuperΣシリーズ」

あらゆる分野に圧倒的納入実績。より高速サイクル、より微小に超安定塗布。…

・V5タイプ：最大吐出圧力設定範囲 0.500MPa ・半自動/全自動塗布装置対応 ・世界唯一「エアパルス安定回路(PAT.)」搭載 ・圧倒的な納入実績 ・世界の半導体製造装置市場で、「高スループット化」を牽引。 ・「更なる微小塗布」を実現。 ・「圧力変化の追従性」を向上。 ・低粘度液剤の塗布安定性UP。 ・Σ三大機能の更なる性能UP。(水頭差自動補正、...

メーカー・取り扱い企業： ディスペンサーの武蔵エンジニアリング株式会社 国内：11拠点　海外：11拠点

【ディスペンサー塗布装置】ディスペンサー「SuperΣシリーズ」

エアパルスの最高峰。圧倒的納入実績。より高速サイクル、より微小に超安定…

・全自動塗布装置搭載対応 ・V2タイプ：最大吐出圧力設定範囲 0.200MPa ・世界唯一「エアパルス安定回路(PAT.)」搭載 ・圧倒的な納入実績 ・世界の半導体製造装置市場で、「高スループット化」を牽引。 ・「更なる微小塗布」を実現。 ・「圧力変化の追従性」を向上。 ・低粘度液剤の塗布安定性UP。 ・Σ三大機能の更なる性能UP。(水頭差自動補正、...

メーカー・取り扱い企業： ディスペンサーの武蔵エンジニアリング株式会社 国内：11拠点　海外：11拠点