研究室向け簡易マスク作製機『MM605』

ローコストで手軽にマスク製作！多品種のデバイス開発に最適

『MM605』は1/5縮小露光の研究室向け簡易フォトマスク作製機です。 各種半導体・MEMS微小構造物製作のためには欠かせない フォトマスクは、特に大学・研究所において種類豊富に必要となります。 本装置は研究室レベルで簡単にフォトマスクを作製するための装置で、 お手持ちの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

試料裏面マスクアライメント露光装置『BAシリーズ』

プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光！ナノテックの露光…

マークに対して、 その対面（第2面）の指定された位置にマスクパターンを アライメントして露光できます。 コンパクトなので通常の片面露光マスクアライナーとしても使用でき、 各種MEMSや半導体素子の両面デバイス開発を支援します。 【特長】 ■裏面観察専用の双対物2視野CCD顕微鏡搭載 ■対物レンズ間隔最小16mm ■小型試料のアライメントまで可能 ■裏面アライメントに最適...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック