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大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。
毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等（配管、継手、バルブ等）から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。 【特長】 ・緊急保安用パイオクリンは、大風量のもと...
メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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燃焼式排ガス処理装置です
本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（SiO...
メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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