半導体向け　ソリューション提案

半導体製造・クリーンルームでの露点計・酸素濃度計・温湿度計・風速計のご…

半導体製造プロセスにおいて、水分および酸素の除去は大きな課題です。当社の露点計や温湿度計、酸素濃度計は半導体の製造、搬送、検査等様々な工程で使用されています。またドライエアーにおける除湿度や窒素ガス・アルゴンガス・ヘリウムガス・水素ガス等のガス純度測定のためにも使用されています。 水分計測では、最低-100℃露点まで測定可能なTK-100静電容量式露点計(酸化アルミタイプ)をはじめとして、最低-60℃露...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクネ計測

テクネ計測『半導体業界向け製品のご紹介』

気体中水分管理のエキスパート！CRDS微量分析計でppb水分量を無料測…

当社は、露点計をはじめとした計測器・校正器を幅広く取り扱っています。 今回はラインアップの中から半導体業界向けの製品をご紹介します。 【製品ラインアップ】 ■CRDS（キャビティリングダウン分光法）簡易型微量分析計「Spark H2O」 　測定濃度0～2000ppm、測定精度±4％ or 検出下...

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レーザー式露点計の原理について

高応答速のレーザー式水分計 Model4010LXの原理

TDLASを採用しております。 TDLASとは、Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopyの略で 波長可変半導体レーザー吸収分光法と呼ばれます。 半導体レーザーで発振したレーザー光を測定セル内に照射し、 測定セル内を透過してきたレーザー光の強度を計測します。 このTDLASにより、水分濃度変化を高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクネ計測

露点計とは？

露点計とは？露点とは？露点計の種類や測定原理などをご紹介します

■露点とは 　気体を冷却していくとき結露、すなわち凝結が起こる温度。 　これは結果的には、空気が水と平衡状態にあり飽和している温度です。 　露点は、日常だけではなく、工業分野（塗装、半導体、電池、電力、鉄道、製薬、ガス精製、再生エネルギー、化学プラント、農業、食品、エアー、工業ガス、鉄鋼、空調、熱処理など）にも重要な要因になっております。 ■露点計の種類 　露点計は測定原理...

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エアー向け　露点計・ハンディ露点計・マスフローメーター

圧縮空気中のドレイン管理・露点管理に露点計の使用

コンプレッサーエアー/圧縮空気において、水分は密接な関係があります。ドレインを輩出しても、配管途中で低温スポットがあれば結露の要因になります。また、エアー搬送距離の長い工場や、半導体や電池業界等においては、水分量を低くコントロールしたエアーを製造する必要があり、乾燥剤による吸着式ドライヤー、ハニカムローター式ドライヤーが使用されます。 また、最近では、マスフローメーターによ...

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