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次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコント…
『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ
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