スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

1100℃の熱風・高温ガスが生成可能な電気式エアヒーター

1100℃の熱風・高温ガス生成が可能になる電気式エアヒーター！特許取得…

生成が可能 ■高温使用、材料安定に優れるカンタル線を使用 ■高い熱交換性 【用途例】 ■燃料電池(SOFC)の評価装置 ■自動車のエンジン燃焼試験装置、EGR試験装置 ■電子部品、半導体などのプロセスガス加熱 ■ガスによる熱収縮パッケージ ■溶接前の予熱処理　■金型予熱 ■熱風乾燥炉 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

シリンダータイプヒーター（円筒）　

シリンダータイプヒーター（円筒）　

均熱性にすぐれるため、電子部品、半導体材料などの熱処理に多く用いられております。 □■特徴■□ ■RACタイプヒーターは、スパイラル形状にしたカンタルA-1ヒーターをセラミックスペーサーで固定し、断熱材に埋め込んだ円筒...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

クリーンプロセス向け高純度セラミックスヒーター

研究所や電子産業に最適！クリーンプロセスでの高温発熱体

特殊セラミックス部品、半導体製造プロセスにおいて求められる高純度な発熱体です。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー