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半導体用ガス精製器です。
独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮します。 【特長】 ・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を 実現し、よりユースポイント近くでの精製が可能です。...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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