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Better pump for Better Yields !
【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10~50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受・バルブ・軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...
メーカー・取り扱い企業: Levitronix Japan株式会社
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