【半導体業界の課題解決に】ALD（原子層蒸着）用バルブ

大流量・高温・高性能。生産性向上に貢献する超高純度用ALD用バルブ

超高純度用Swagelok ALD（原子層蒸着）用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの投与を実現します。 ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

PFA製フレアー継手

信頼性の高いパフォーマンス。引張強さ、耐透過性、熱安定性、流量、耐クリ…

Swagelok(R) PFA製フレアー継手は、半導体製造など反応性・腐食性の高い化学物質を取り扱う過酷な アプリケーションにおいて、信頼性の高いパフォーマンスを発揮します。 このPFA継手に加え、スウェージロックでは、空気作動式および1/4回転手...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

VCRメタル・ガスケット式面シール継手

半導体・FPD・太陽電池・LED業界のベンチマーク スウェージロック…

VCR(R) メタル・ガスケット式面シール継手は、高純度の金属同士のシールにより、真空から正圧まで、 漏れのない締め切りを行います。 毎回、確実に再取り付けを行うことができ、メンテナンスやダウンタイムに 要するコストを最小限に抑えます。 【VCR継手は、経済産業大臣認定品の供給も可能です。】...【特徴】 ・グランドおよびボディは平均値で0.25 µm Raの標準表面仕上げ ・「たまり」とな...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン