【技術資料】真空紫外エキシマランプの現状とその産業的応用

非熱過程で分子の結合を切断することが可能！半導体関連分野での応用につい…

当資料では、「真空紫外エキシマランプ」の現状とその産業的応用について ご紹介しております。 エキシマとは励起状態の原子または分子1個と基底状態の原子または分子1個が 会合した二量体の総称。 「真空紫外エキシマランプ」は、準単色光、一般的なランプにない短波長の 光を発光できる、瞬時点灯点滅が可能、などの特長を有しています。 また、真空紫外光は短波長で光子エネルギーが高いため、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー