株式会社クォークテクノロジー 【技術資料】真空紫外エキシマランプの現状とその産業的応用
- 最終更新日：2022-10-13 14:11:06.0
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非熱過程で分子の結合を切断することが可能！半導体関連分野での応用についてご紹介
当資料では、「真空紫外エキシマランプ」の現状とその産業的応用について
ご紹介しております。
エキシマとは励起状態の原子または分子1個と基底状態の原子または分子1個が
会合した二量体の総称。
「真空紫外エキシマランプ」は、準単色光、一般的なランプにない短波長の
光を発光できる、瞬時点灯点滅が可能、などの特長を有しています。
また、真空紫外光は短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の
結合を切断することができます。
【掲載内容】
■真空紫外エキシマランプとは
■真空紫外エキシマランプの応用
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基本情報【技術資料】真空紫外エキシマランプの現状とその産業的応用
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○紫外線照射装置製造販売 ○UV-LED照射装置製造販売 ○半導体製造装置製造販売 ○その他、各種石英、セラミック商品取扱
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