【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。 また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社