エキシマ照射装置　チューブタイプ

従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生！

株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー 真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な 励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置 などに利用されています。 準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、 赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー