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開口幅400mm~2000mm!第六世代、第七世代基板に対応したゲート…
FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 し...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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