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![スパッタ装置 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/d1c/339235004/IPROS11129919243014278047.png?w=64&h=64)
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スパッタ装置
スパッタ装置
低プラズマダメージ、低基板温度を実現しながら、ご希望の機能性膜が得られます。
有機EL分野では、トップエミッション構造における透明導電膜の形成、封止膜の形成に最適です。
有機太陽電池や有機半導体などの有機デバイス、電子部品、樹脂フィルム等の様々な分野において、
最適なプロセスを提供しています。
その他、平行平板方式、円筒方式のスパッタ装置も提供しています。
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メーカー・取り扱い企業:
長州産業株式会社
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