半導体業界向サーモチラー

使用冷媒が無毒かつ不燃性につき空輸制限なし！フロントから循環液の補充が…

当社で取り扱っている、半導体業界向サーモチラーについて ご紹介いたします。 フロンレス(CO2冷媒)対応で、スリム設計により効率的なチラー 配置が可能。フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要です。 また、フロン...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

制振リニアアクティブ除振台『e-Stable』

半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート！荷重移動時の位置を制御

『e-Stable』は、リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が 普及しているアクティブ除振台です。 倉敷化工が新たに開発した制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を 追求しました。 ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■空圧制御タイプを大きく上回る制振性能を実現 ■生産性を大幅に向上 ■モーションフィードフォワード制御を搭載 ■ス...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

ステッピングモーター 真空タイプ

真空中の動力源！装置の小型化・コストダウンに貢献

当社で取り扱う「ステッピングモーター 真空タイプ」をご紹介いたします。 半導体製造装置のスパッタリングや、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、 さまざまな用途に多数採用されており、多軸ステージの設計も可能。 真空チャンバー内にモーターを設置できるため、回転導入機な...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

サスペンションキャスター

凸凹路面での振動や衝撃を吸収！2種類のバネを用意しております

当社で取り扱っている「サスペンションキャスター」について ご紹介いたします。 振動や衝撃をきらう精密機器や部品・半導体関連等の クリーンルー厶での使用に好適。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■CT 100/100S ■CT 100N/100NS ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

ケーブルベヤ TKR28H52-EX

半導体業界など、クリーンルームでの長ストローク搬送に好適！

『ケーブルベヤ TKR28H52-EX』は、剛性材と柔軟材との一体成形で 高剛性と柔軟性を両立したケーブル・ホース支持・案内装置です。 新形状の柔軟材は、直線部でも屈曲部でもたわみ変形が少なく高耐久。 また、剛性材が、寿命の要因となるフリースパン部のたわみ量の進行を 抑制して長寿命化し、交換の負担を軽減します。 【特長】 ■クリーンルームの長ストローク搬送 ■クリーンなモ...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

ウルトラFシリーズ カタログ

液晶・半導体製造装置の低発塵化を実現！クリーン環境用軸受をご紹介

当カタログでは、クリーンルーム・真空・高温での低発塵・耐久性を 向上させたクリーン環境用軸受『ウルトラFシリーズ』について ご紹介しております。 標準仕様や外観・構造、特長、使用例などについて図や画像を 用いて詳しく掲載。 また、寸法表や特殊環境製品の紹介なども掲載しておりますので 是非ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■クリーン環境用軸受の標準仕様 ■ウルトラ...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

ケーブルベヤ ドライ環境仕様

低湿度環境、クリーンな環境にオススメ！つばき独自の屈曲構造により低発塵

下でも 割れにくい樹脂を使用しています。 また、アウトガス対策が必要な環境下で優れた機能を発揮する「PVDF仕様」 もご用意しております。 【特長】 ＜PVDF仕様＞ ■液晶・半導体の製造や滅菌、メッキ工程などに好適 ■特殊フッ素樹脂を使用 ■ケーブルベヤからのガスの発生を抑え、耐薬品性にも優れている ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わ...

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