【用途事例】半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜ガス供給系＞

ガス供給系に適した「高度な圧力計測技術」で新たな価値を創出します！

各種プロセスガスの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 半導体ガス供給系に適応する溶接構造と特殊表面処理技術により、 測定ガスの滞留を最小限に抑制。 ガス供給系に適した「高度な圧力計測技術」で 新たな価値を創出します。 【半導体ガス圧力計測分...

メーカー・取り扱い企業： 長野計器株式会社

圧力トランスミッタ『ZT11』

小形、軽量化を実現！耐食性・気密性に優れた半導体産業用の圧力トランスミ…

『ZT11』は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、 圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力トランスミッタです。 SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、...

メーカー・取り扱い企業： 長野計器株式会社

半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜空気調和システム＞

極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測！全レンジ50kPaの高耐圧…

半導体製造プロセスの空気調和システムにおける、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測でき、全レンジ50kPaの 高耐圧を実現した、シリコンキャパシタンスセンサが利用可能。 微差圧計測のIO-Link対応を開始し、空調システムの進化に対応します。 【空気調和システム圧力計測分野】 ■ドライエアー ■N2ガス ■排ガス ※詳しく...

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圧力トランスミッタ『GC51』

絶対圧・低圧～中圧～高圧まで！様々な圧力レンジに対応可能な圧力トランス…

ンサ　<絶対圧・低圧レンジ> 　・全ての接液部の材質にSUS316L材を使用 　・検出部は、絶対圧・低圧が計測可能なMEMSセンサ素子 　・高耐食性を要求される気体、液体計測に対応 ■半導体蒸着形(SS)センサ　<中圧～高圧レンジ > 　・様々な産業分野での実績あり 　・半導体歪ゲージ部と感圧部および接続部までの一体構造 　・接着剤や腐食性材料を不使用 ※詳しくはPDF資...

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半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜薬液・超純水＞

薬液・超純水計測に適応した、接液部構造！薬液・洗浄水などの計測の用途事…

薬液・洗浄水などの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 薬液タンクのレベル計測から、薬液の吐出圧監視、 ライン圧監視などを実行。 洗浄工程における薬液・超純水の効率的な利用を 支えます。 【ウェットプロセス圧力計測分野】 ■超純水・高機能水 ■フッ酸・塩酸 ■スラリー ■レジスト液 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

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圧力トランスミッタ『KH54』

取付スペース減少を実現！バラスト水処理装置や大型船舶用エンジンにお役立…

『KH54』は、小型・軽量サイズ(約120g)の船級規格(NK)を取得した 舶用圧力トランスミッタです。 半導体蒸着形(SS)センサは、ダイアフラム材質にSUS316Lを標準採用し、 破壊耐力が高く、耐久性に優れる構造になっています。 バラスト水処理装置や大型船舶用エンジンなどにご使用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： 長野計器株式会社