ステッピングモーター 真空タイプ

真空中の動力源！装置の小型化・コストダウンに貢献

当社で取り扱う「ステッピングモーター 真空タイプ」をご紹介いたします。 半導体製造装置のスパッタリングや、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、 さまざまな用途に多数採用されており、多軸ステージの設計も可能。 真空チャンバー内にモーターを設置できるため、回転導入機などを...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

制振リニアアクティブ除振台『e-Stable』

半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート！荷重移動時の位置を制御

『e-Stable』は、リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が 普及しているアクティブ除振台です。 倉敷化工が新たに開発した制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を 追求しました。 ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■空圧制御タイプを大きく上回る制振性能を実現 ■生産性を大幅に向上 ■モーションフィードフォワード制御を搭載 ■ス...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

ウルトラFシリーズ カタログ

液晶・半導体製造装置の低発塵化を実現！クリーン環境用軸受をご紹介

当カタログでは、クリーンルーム・真空・高温での低発塵・耐久性を 向上させたクリーン環境用軸受『ウルトラFシリーズ』について ご紹介しております。 標準仕様や外観・構造、特長、使用例などについて図や画像を 用いて詳しく掲載。 また、寸法表や特殊環境製品の紹介なども掲載しておりますので 是非ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■クリーン環境用軸受の標準仕様 ■ウルトラ...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社