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価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を…
【仕様】 ○処理方式 同軸バレル型 ○処理室 円筒・縦型・石英チャンバー ○RF電源 600~2000W 13.56MHz オートチューニング ○処理ガス O2 1系統増設可(オプション) ○パージガス N2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト
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