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オイルフリーの超高真空が実現可能!大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…
「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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