アンモニア分解除害装置

GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。

プロパン供給設備や排水設備は必要ありません。 　（但し、A20分解筒は水冷式を採用しております。） ・除害後のガス中は除害対象ガス濃度ACGIH/TLV-TWA値以下を保証します。 ・吸着再生型は後処理筒の除害剤交換の必要がなく、ランニングコストの低減ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社