高周波計測器
RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能
・1%の精度で測定が可能。 ・1μsの時間分解能で測定が可能 ・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能 (Ocye Poly Octiv Suite) ・イオンフラックスが測定可能 (Octiv Suite)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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