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    マグネトロンスパッタ装置『LA-S2020』

    各種デバイス・センサー用膜厚電極としても作成可能なマグネトロンスパッタ…

    【仕様】 ■スパッタ方式：マグネトロンスパッタ方式 ■ターゲット：Au ターゲット(φ48mm)：標準 ■スパッタ時間：0.1～5min(0.1min/step)：デジタルタイマ ■スパッタ圧力：6Pa～15Pa ■排気時間：0.1～999min(0.1min/step)：デジタルタイマ ■ガラスベルジャー：外径φ100(内径φ83)×高さ70Hmm：ガラス製 ■試料台：Φ40mm：...

    メーカー・取り扱い企業： ラボテック株式会社

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