超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』

紫外線照射式＋活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍

や液晶製造プロセスで活躍する製品です。 【標準仕様】 分解原理：紫外線照射式＋活性炭式 分解対象液：純オゾン水 分解液温度：20～50℃（周囲温度：15～40℃、90％RH以下） 使用圧力範囲：0.4MPa以下 使用流量：20L/min以下（条件による） 分解後の濃度：5ppm以下（条件による） ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス