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紫外線照射式+活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍
や液晶製造プロセスで活躍する製品です。 【標準仕様】 分解原理:紫外線照射式+活性炭式 分解対象液:純オゾン水 分解液温度:20~50℃(周囲温度:15~40℃、90%RH以下) 使用圧力範囲:0.4MPa以下 使用流量:20L/min以下(条件による) 分解後の濃度:5ppm以下(条件による) ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アプリクス
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