メタルシール採用事例：半導体製造用化学物質キャニスター

樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報！メタルシールを…

は、真空と正圧の両方を ヘリウムリークタイトできる信頼性と、耐久性に優れることなので、 樹脂製やエラストマー性の採用はできませんでした。 採用後は、ヘリウムリークタイトを実現し、通常よりも設計締付圧力が 低いことによりボルト荷重が下がり、スペースが限定されるキャニスター カバーのボルト数低減につながりました。 【事例概要】 ■課題 ・化学物質をヘリウムリークタイトで繰り返し輸送したい ■結果 ...

メーカー・取り扱い企業： テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社