ピュアスチーム発生装置

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業： クリーンメカニカル株式会社 本社

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

化を読み取ることにより、真空計測を行っています。　精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。 コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。 ※CC-10はRoHS指令に準拠した環境に優しい製品です。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。 熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。 （特長） 　●（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の測定範囲 　●故障に強い定温度型 　●小型なボディーで省スペース化が可能 （仕様...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

コールドカソードゲージ コントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

定温度型ピラニゲージコントローラ　PG-30

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。...（特長） 　・（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の測定範囲 　・故障に強い定温度型 　・小型なボディーで省スペース化が可能 （仕様） ・出力信号 ：a)制御出力　リレー接点出力容量 AC100Vmax、1Amax 　　 　 　 　 　b)アナログ出力　0?5V　F....

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

マイクロ真空計

高真空の計測が可能なマイクロ真空計

コン基板から熱分離された薄膜と熱電対からなるマイクロサイズの熱電対真空計です。 構造を工夫することによって低圧側の測定幅を広げてあるのが特長です。 また、約0.8mm角のChipなので微小空間の圧力測定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

化を読み取ることにより、真空計測を行っています。　精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。 コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。 ○CC-10はRoHS指令に準拠した環境に優しい製品です。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社