技術情報誌 202101-04 陽電子によるバリア膜や分離膜評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 革新的なバリア性や分離性などの気体輸送特性（ガスや蒸気の透過性、拡散性、収着性など）を持つ材料の開発ではサブナノ空隙（1 nm未満の空隙）構造の評価が重要になる。そのため、分子レベルの空隙を評価する技術が求められ、陽電子消滅寿命法は強力なツールとなる。本稿では、polyethylene terephthalateおよびシリカ薄膜に対し、陽電子消滅寿命法と他手法を協奏的に活用することで、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。この度、東レリサーチセンターに導入した新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。また、入射イオン種の増加、入射イオンの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター