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自由なハードウェア選択!カメラ、レンズ、PCなど市場にある機器が自由に…
(前端面、右側面/上面、後端面、左側面)底面は搬送時測定 ■オートフォーカス:Z軸(設定分解能0.1μm)高速オートフォーカス機能(200msec/20枚) ※露光時間によって変わる ■対物レンズ:20X(自由に選択可) ■検査分解能:1μmのキズ、コンタミ検査可 分解能0.25μm(20X時) ■照明:同軸落斜照明(3色高輝度LED)、リング照明(3色LED照明:ローアングル) ...
メーカー・取り扱い企業: ダイトロン株式会社
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