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高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッ…
太陽電池, 光学部品, バイオ, 半導体・電子部品, 自動車・樹脂, 特殊膜, MEMS ■代表的な成膜材料 ・誘電体膜ほか SiN, SiO2, ZrO, TiO2, 重合膜 ・透明導電膜 ITO, ZnO ・金属膜ほか Au, Ag, Cu, Si, Ti, Sn, Cr, Al, Ni, DLC, 電磁波シールド...
メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社
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