「Smart」,「Solutions」,「Services」の3つの「S」でものづくりに貢献してまいります
芝浦メカトロニクスグループは、長年培ってきたコア技術(精密メカトロニクス、洗浄、ボンディング、エッチング、真空、成膜など)を結集して、半導体、フラットパネルディスプレイ、電子部品などの用途向けに製造装置の開発からサービスまでトータルソリューションを提供しています。
事業内容 * 半導体製造装置
* FPD製造装置
* 真空応用装置
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