ウェハ外観検査装置（画像式）

ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！ ・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）

高出力レーザーで微小欠陥を検出！

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約９１秒/6inch） ・PSL 50nm(オプション追加で40nm)相当の微小欠陥検出 ・欠陥の凹凸を弁別 ・SEM等での分析用にケガキ可能 ・レー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装